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    電子潔凈室凈化工程應用走向成熟化

    2016-06-01 04:02:35   作者:admin  出處:科瓦特

      電子行業,特別迅速發展的亞微米工藝對生產場所空氣潔凈度要求特別高,在對潔凈度的提出更高要求方面,電子工業是促進前進動力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動潔凈室要求向前發展的決定因素,技術越進步,尺寸就越小,如果落在集成電路上的粒子大于最小尺寸的1%--2%,就會使集成電路成為廢品,金屬粒子、離子、細菌都是生產廢品的元兇??諝鉂崈舳鹊暮脡闹苯佑绊戨娐飞a的成品率。

      同時,對微電子產品的功能要求越高,投資規模越來越大,就對質量水平的要求越來越嚴格,電子工業成為世界上越來越大的工業部門,預計再近年,電子激光最小的光刻尺寸可達到0.5微米。微電路存儲量可達64千兆,世界上大部分在建的潔凈室都用于微電子工業,每年建造和使用費用可達百萬美元。


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